Module Builder——Gem200之Alarm模块

GEM200 Alarm（报警管理）是SEMI E30标准定义的核心安全机制，用于在设备发生可能危及人员，硬件或晶圆的异常情况时，及时通知上位机（Host）。

与普通的状态事件不同，报警触发时设备通常会抑制相关动作以防止危险扩大。

核心通信机制

S5F1 Alarm Report Send

当设备检测到异常或异常恢复时，主动通过S5F1消息向Host上报报警状态变化。

• ALCD：报警代码，标识状态是触发（SET=1）还是清除（CLEAR=0）。
• ALID：报警唯一编号（Alarm ID），对应预设的报警列表。
• ALTX：可选的ASCII文本描述，提供可读的故障详情。

S5F2 Alarm Report Acknowledge 

Host收到S5F1后，必须回复S5F2消息进行确认，告知设备端已收到报警信息。

典型交互时序

1.异常触发：设备底层检测到故障（如温度过高、真空异常），立即触发内部保护逻辑并停止相关动作。

2.主动上报：设备构造S5F1报文（ALCD=1，ALID=xxx，ALTX=“TEMP HIGH”）发送给Host。

3.Host确认：Host解析报警内容并记录日志，回复S5F2确认；若需屏蔽该报警可下发S5F3。

4.异常恢复：故障解除后，设备发送S5F1（ALCD=0）通知Host报警已清除。

常见拒绝原因码

若命令无法执行，设备会在S2F42中返回非零的HCACK状态码：

• HCACK=1：无效命令，设备未定义该RCMD。
• HCACK=2：当前状态不允许执行（如设备处于Local模式)。
• HCACK=3：参数错误，参数名不存在或数值非法。

Module Builder中的Alarm模块

Alarm 模块是设备自动化软件中用于定义和管理设备报警（Alarm）的核心配置区。在半导体制造等工业自动化场景中，当设备出现异常情况时，系统需要生成特定的报警信号并上报给上位机（Host）。该模块不仅用于设定报警的基本属性，还负责将报警的触发（Set）与恢复（Clear）动作与具体的设备事件（CEID）进行绑定，从而实现报警全生命周期的自动化监控与追溯。

Alarm 模块允许用户新增Alarm、对现有的Alarm进行删除和修改。需要注意的是，Alarm的ALID、Name、SetCEID、ClearCEID具有唯一性，不允许重复。