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URI de l'entité : http://www.idref.fr/226385353/idCopier cet URI
Notice de type Rameau

Point d'accès autorisé

Métrologie virtuelle

Variantes de point d'accès

Mesure virtuelle
[Nom commun]
Virtual Metrology
[Nom commun]
VM
[Nom commun]

Source

Development of Virtual Metrology in semiconductor manufacturing / B. S. Gill, 2011 [thèse]
Modélisation et quantification tridimensionnelles des écarts de fabrication pour la simulation d'usinage / S. Tichadou, 2004 [thèse]
The impact of the Virtual Metrology on a Run-to-Run control for a chemical mechanical planarization process, 2017

Identifiants externes

Identifiant ARK BNF : http://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb177710826

Utilisation dans Rameau

Le point d'accès ne peut être employé que dans un point d'accès sujet
Le point d'accès ne peut s'employer qu'en élément initial

Informations sur la notice

Identifiant de la notice : 226385353
RCR créateur de la notice : 335220001
Date de création : 27-04-2018
RCR dernier modificateur de la notice : 1999
Date de dernière modification : 06-11-2018 à 09 h 50

... Références liées : ...