Atomic Layer Deposition (ALD) - Principes généraux, matériaux et applications / N.
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Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications,
2013
Nanotechnologies et nanomatériaux pour l'énergie / P.-C. Lacaze, J.-C. Lacroix, 2021
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Equivalent dans un autre référentiel
Terme équivalent dans un autre système : Atomic layer deposition
Date de consultation du référentiel ou de la classification externe : 2023-01-11
Code du système ou de la classification utilisé : LCSH
Date de consultation du référentiel ou de la classification externe : 2023-01-11
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